日本開發(fā)出可用于1000℃高溫區(qū)的高精度溫度計 日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的研究組與CHINO株式會社合作成功研發(fā)出能夠在1000℃附近高溫區(qū)準確測定溫度的白金電阻溫度計。
以往，在半導體制造等需要對溫度進行準確測定的場合，都是采用以白金（鉑）絲為傳感器的白金電阻溫度計。然而，在1000 ℃附近的高溫區(qū)，白金的電阻率并不穩(wěn)定，而且白金絲自身也會產(chǎn)生熱扭曲，所以很難實現(xiàn)高精度測量。 為了開發(fā)在1000 ℃高溫區(qū)也能具有穩(wěn)定電阻率的溫度傳感器，課題組對市場上銷售的白金電阻溫度計進行分析研究后，對其傳感器進行適當?shù)臒崽幚?，再利用日本國家標準的水三相點裝置和銀凝固點裝置反復進行熱循環(huán)試驗，分析不同溫度下的電阻值變化情況。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過熱處理后，鉑溫度傳感器在1000 ℃附近的電阻變化實現(xiàn)最小化，溫度計性能更加穩(wěn)定。此外，通過對鉑絲的結(jié)構(gòu)進行調(diào)整優(yōu)化，使其熱扭曲程度得到減輕。 新開發(fā)的溫度計在銀凝固點的961.78℃，測量值變動范圍為±0.001度（以前為0.01度）；在水三相點的0.01℃，測量值變動也穩(wěn)定在±0.0005度以內(nèi)，達到世界最高水平。 |
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